应数理学院刘昊教授邀请,中国科学院微电子所毛海央研究员将来我校进行学术交流,并做学术报告。 题目:纳米森林结构及其在MEMS热电堆传感器中的集成应用 时间:2023年3月6日9:30—11:30 地点:中国地质大学(北京)教五楼409 毛海央研究员简介:中国科学院微电子所研究员,博士生导师,主要从事纳米材料与MEMS传感器研究。主持包括国家自然科学基金项目、国家重点研发计划课题、国防创新项目、国防预研项目、中科院青促会(优秀)项目、省级重点研发计划等20余个科研项目以及多个传感器产业化项目。在Advanced Functional Materials、Small、ACS Sensors、Microsystem & Nanoengineering 等期刊以及IEEE MEMS等国际会议上发表论文100余篇;申请专利90余项,已授权专利53项。在产业化方面,围绕MEMS热电堆传感器和MEMS湿度传感器开发了十余款产品,出货量达数千万颗(套)。 报告摘要: MEMS热电堆传感器具有广泛的应用。热电堆器件对光的吸收能力影响着器件的性能,引入纳米结构增强光吸收能力是提升MEMS热电堆传感器的有效手段。报告将介绍基于等离子再聚合原理制备纳米森林结构的新工艺思路,并介绍利用纳米森林结构的宽光谱高吸收特性,设计以纳米森林结构为光吸收层的新型MEMS热电堆传感器。原为集成纳米森林结构之后器件在可见光-近红外波段,性能提升3-5倍,在中红外波段性能提升35%,展示出纳米森林结构在光电、光热电相关 MEMS传感器中优异的应用前景。 欢迎广大师生积极参加,研究生记学术报告一次!
|